1、機臺采用進口勞士領(lǐng)板材，長期可工作在酸腐蝕環(huán)境，堅固耐用，雙層防漏 。
2、全自動設計硅片擴散前清洗超聲動作 。
3、超聲槽帶加熱提動溢流等功能
4、控制部分采用進口品牌PLC 和HMI，所有可能與酸霧接觸的電氣及線路均經(jīng)PFA防腐隔絕處理，電氣柜CDA/N2充氣保護其中的電器控制元件；
5、機臺前部配備有PTFE純水槍和PTFE氮氣槍各1只置于右側(cè)。
6、設備設計標準按半導體行業(yè)標準（SEMI-S2-93）執(zhí)行，ISO9001質(zhì)量管理體系進行規(guī)范和保證。
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